RSS

Продукт «Лаборатории вакуумных технологий» среди лучших

12:17 24.04.2017
Установка «НИКА-2014 плазмохимия» была признана лучшим инновационным продуктом 2017 года

На 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо-2017» установка «НИКА-2014 плазмохимия» была признана лучшим инновационным продуктом 2017 года. Установка произведена компанией «Лаборатория вакуумных технологий», которая работает на базе Технопарка «ЭЛМА» в Зеленограде.

НИКА-2014 – шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения покрытий в среде высокоплотной плазмы. Плазмохимические процессы широко применяются для оборонной и радиоэлектронной промышленности – при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS-технологии, оптике.

Состав: камера Ø350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).

«Лаборатория вакуумных технологий» – российская компания, производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Особенностью производимой данным предприятием продукции является то, что все ее компоненты отечественные.

Если вы нашли ошибку: выделите текст и нажмите Ctrl+Enter

Сообщение об ошибке

Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
Неверно заполненное поле
*
CAPTCHA Обновить код
Play CAPTCHA Audio

Версия для печати